《微纳电子技术》杂志，于1964年经国家新闻出版总署批准正式创刊，CN:13-1314/TN，本刊在国内外有广泛的覆盖面，题材新颖，信息量大、时效性强的特点，其中主要栏目有：微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。

《微纳电子技术》杂志自创刊以来，致力于推动我国微米纳米技术的发展，大量报道了我国纳米电子学的基础性研究和MEMS领域的开发与应用，为全国从事微纳电子技术研究的人员搭建了一个良好的技术、信息交流平台。

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